报告时间：9月17日  上午8:30
报告地点：浙江大学工控新楼501会议室

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报告题目：纳米制造工业中过程控制的挑战与创新

纳米制造是支撑现代科技发展的支柱产业之一，更是我国大力支持、重点发展的产略性产业。然而我国的纳米制造产业，长期落后于国际水平，且投入大见效慢，特别是先导技术的实际应用及提产速度远低于国际主流水平。过程控制在纳米制造中有广泛应用，重要性与日俱增，但是相对控制应用水平高的行业，还有很大的改进空间。发现过程控制在纳米制造中的机遇，克服挑战解决行业核心问题，对大幅度提升我国乃至全行业的技术水平有极为积极的作用。半导体制造作为纳米制造领域的领头行业，是重中之重，也是集中反映问题的最佳例证。结合半导体制造工业背景，过程控制在纳米制造过程质量控制与单元操作控制两个方面的主要挑战、机遇及发展应对策略将被一一介绍。进一步的讨论指出，从开环到闭环，从稳态到瞬态，从单变量到多变量，从纯粹数据驱动到数据模型结合，从人工到自动是该行业过程控制技术发展的必然选择。而通过与行业龙头企业合作，对现有系统进行优化改造，树立业界对过程控制先进方法的信心，进而运用创新方法有效的解决行业核心问题，则是推广过程控制在纳米制造工业中实际应用的一条切实可行之路。